Zur Theorie auf selbsterregter Elektronenresonanz basierender Diagnostikmethoden für kapazitiv gekoppelte Niedertemperaturplasmen

Description

Obwohl der grundlegende Mechanismus der selbsterregten Elektronenresonanz in kapazitiv gekoppelten Niedertemperaturplasmen verstanden ist, leiden die hierauf basierenden, industriell eingesetzten Plasmadiagnostikverfahren zur Zeit noch an einigen Schwächen. So ist es bislang nicht möglich, die bei zunehmenden Elektronendichten, Plasmareaktordimensionen und Betriebsfrequenzen immer wichtiger werdenden Selbstinduktionseffekte zu berücksichtigen. Auf der Basis einer fluiddynamischen Plasmabeschreibung wird ein räumlich aufgelöstes Modell entwickelt, das die Plasma- und Felddynamik für beliebige Konfigurationen hinsichtlich Reaktorgeometrie, Elektronenverteilung und nichtlinearer Randschichtcharakteristik bei beliebiger kapazitiver Energieeinkopplung berücksichtigt. Damit kann speziell für die immer wichtiger werdenden Regime großer Elektronendichten, großer Reaktordimensionen und hoher Betriebsfrequenzen das Verhalten von Plasmasystemen besser verstanden werden.